Inert gázok pontos szabályozása

VEFC tömegáram-szabályozó Festo piezo technológiával

A Festo VEFC tömegáram-szabályozója a megfelelő választás minden olyan esetben, amikor inert gázokat kell pontosan szabályozni. A piezo technológiának köszönhetően kompakt felépítésű és rugalmasan alkalmazható, valamint kiváló ár/teljesítmény arányt kínál. Különösen alkalmas az elektronikai gyártás, az élelmiszer-előállítás és a gépgyártás minden olyan területén, ahol védőgázra van szükség.

A Festo VEFC tömegáram-szabályozója az egyik legkompaktabb a piacon, miközben 200 l/perc átáramlásra  képes. A digitalizálásnak köszönhetően az áramlás állandó marad. Ez azt jelenti, hogy ezt a dinamikus, közvetlenül vezérelt piezo-szelepet nem kell kézzel beállítani. Az áramlási mennyiségek pontos beállítása mindössze ezredmásodpercekbe telik, és azok manipulációbiztosak maradnak. Ez biztosítja a felhasználók számára a gyártási folyamataikhoz szükséges rugalmasságot. Ezen túlmenően a VEFC lehetővé teszi számukra a folyamatok állandó nyomon követését, mivel az áramlás és a kimeneti nyomás mindig monitorozható.

A félvezető ostyák megbízható védelme

Az inert gázok, például a nitrogén áramlásának megbízható szabályozása különösen fontos a félvezetőiparban, hogy elkerülhető legyen az ostyák károsodása. A VEFC kedvező alternatíva a piacon kapható egyéb megoldásokkal szemben a nitrogén szabályozásakor a töltő- vagy Front End egységekben.

Gazdaságos, megbízható és pontos nitrogénes öblítés

Az egyes tisztítási lépésekben különböző áramlási mennyiségek szabályozhatók a VEFC-vel a töltőfejekben. Ez biztosítja, hogy csak a feltétlenül szükséges mennyiségű nitrogént használják fel, legyen szó a befúvás és a tisztítás bármelyik fázisáról. A felhasználók így nitrogént takarítanak meg, és lerövidítik a feldolgozási időt a száraz védőgázatmoszféra eléréséig.

További friss híreket talál a Technokrata főoldalán! Csatlakozzon hozzánk a Facebookon is!